閉循環(huán)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

　　閉循環(huán)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，LH-CRPS-10K是一種低成本無需消耗制冷劑，依靠制冷機(jī)提供冷源的閉循環(huán)低溫探針臺(tái)。此款低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)的初衷就是操作便利性和可靠的專業(yè)測(cè)量能力，為制冷劑獲得比較困難的客戶提供了一個(gè)可以的解決方案。通過閉循環(huán)制冷機(jī)降溫，降溫過程中不需要其它輔助設(shè)備，只需要很少的電能即可，也不需要科研人員值守操作。

　　豐富的選件和配置確保科研人員能夠?qū)嵤﹪?yán)苛的、富有挑戰(zhàn)的測(cè)試測(cè)量。LH-CRPS-10K是德世閉循環(huán)探針臺(tái)家族中價(jià)格蕞低的一款探針臺(tái)，蕞低溫度低于10K，它的多功能性和可靠低溫性能，成為了各地科研工作者的首先。多個(gè)溫度傳感器分布于探針臺(tái)各個(gè)位置，確保溫度監(jiān)視和測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。由于是二級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，這樣能保證樣品溫度維持在相對(duì)較高的溫度，同時(shí)樣品處于真空環(huán)境中，減少了凝結(jié)的可能性，在一些有機(jī)材料的嚴(yán)格測(cè)試要求中這一點(diǎn)比較重要。

　　LH-CRPS-10K可以實(shí)現(xiàn)I-V、C-V等測(cè)試，最大可安裝樣品臺(tái)直徑51mm(2in)，出廠時(shí)標(biāo)準(zhǔn)配置三同軸樣品臺(tái)，標(biāo)準(zhǔn)溫度范圍10K-350K，選件可實(shí)現(xiàn)溫度范圍20K-675K。

閉循環(huán)低溫探針臺(tái)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

　　特點(diǎn):

　　無需消耗制冷劑

　　全程無值守降溫

　　豐富的選件和配件

　　遠(yuǎn)程軟件控溫

　　德世蕞低成本的閉循環(huán)制冷機(jī)探針臺(tái)

1.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)提供冷源，一級(jí)制冷平臺(tái)冷卻輻射屏，二級(jí)制冷平臺(tái)冷卻樣品臺(tái)

2.防輻射屏包圍著樣品臺(tái)，頂端帶有可視窗口，安裝紅外吸收石英窗片

3.兩級(jí)制冷平臺(tái)制冷機(jī)，在10K時(shí)有3.5w的制冷量

時(shí)間參數(shù)：

◆抽空時(shí)間：0.5h(與泵組相關(guān))

◆降溫時(shí)間：從室溫到蕞低溫2.5h

◆升溫時(shí)間：從蕞低溫到室溫2h

樣品臺(tái)：

◆標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)：51mm(2in)

◆樣品臺(tái)背光：無

◆樣品臺(tái)類型：三同軸樣品臺(tái)(標(biāo)配)、接地樣品臺(tái)(選配)、0.15T垂直磁場(chǎng)樣品臺(tái)(選配)

◆樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)：無

探針：

◆探針數(shù)量：最多6個(gè)

◆探針傳感器：硅二極管，監(jiān)視探針溫度

◆探針托溫度：<20K樣品臺(tái)處于蕞低溫度

◆探針熱沉：熱沉到樣品臺(tái)或者相同溫度的防輻射屏

◆探針臂：熱沉到防輻射屏

◆DC/RF探針：絕緣電阻>100GΩ,漏電流<100fA

◆微波探針：DC到67GHz,用于微波測(cè)量

◆光纖探針：用于光電測(cè)量，可選FC/APC或者SMA905接口，波長(zhǎng)可選

探針位移：

◆X方向行程：75mm,移動(dòng)分辨率3μm

◆Y方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

◆Z方向行程：25mm,移動(dòng)分辨率5μm

顯微鏡配置

3400萬像素CCD相機(jī)

支持4K視頻錄制

4條水平線4條垂直線，帶測(cè)量軟件

標(biāo)準(zhǔn)HDMI接口

電子縮放1x-10x

景深同軸光鏡頭，帶LED同軸光源

光學(xué)倍數(shù)0.7-5X，連續(xù)變倍比7.1:1

電子倍數(shù)20-200x

成像距離140-180mm

景深高度：10mm

觀看面積1mm-18mm

制冷劑消耗：

◆室溫到蕞低溫度：不需要

◆液氦消耗(5K):不需要

探針臺(tái)配置

樣品托

接地樣品托

直接安裝在樣品臺(tái)，盡量減小對(duì)樣品的溫度梯度，與整個(gè)探針臺(tái)電器接通

注：可選圓形和方形，性能無差異

同軸樣品托

樣品托表面與探針臺(tái)整體電器絕緣，通過BNC接口穿過真空室

注：可選圓形和方形，性能無差異

三同軸樣品托

在同軸樣品托的基礎(chǔ)上增加GUARD層，層與層之間電器絕緣，提供保護(hù)電壓層，減小漏電流

注：可選圓形和方形，性能無差異

磁場(chǎng)樣品托

磁場(chǎng)樣品托提供了一種低成本便捷的磁場(chǎng)測(cè)試環(huán)境，樣品托安裝在樣品臺(tái)上，和探針臺(tái)整體供地。磁場(chǎng)樣品托一套包括四種磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)和一個(gè)安裝托。

根據(jù)不同的磁場(chǎng)需求，選擇使用不同的磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)。四個(gè)磁場(chǎng)產(chǎn)生環(huán)分別能產(chǎn)生0.2T、0.18T、0.15T、0.1T磁場(chǎng)。

樣品托配置

樣品托性能

接口

探針臂配置

德世標(biāo)準(zhǔn)的微操作針臂，能安裝各種類型的探針，滿足絕大部分科研需求，實(shí)現(xiàn)直流、射頻、微波以及光學(xué)測(cè)量。

u靈活容易擴(kuò)展的探針集合

u微操作針臂可以在全溫區(qū)、真空環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境下使用

u可以配置在德世任意款探針臺(tái)上

u磁場(chǎng)探針臺(tái)中更換成無磁材料針臂

u針臂上安裝一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度傳感器，可以接受定制傳感器類型

探針配置及用途

探針硬件配置

探針性能

探針定位

SMA低溫專用探針

德世為低溫探針臺(tái)設(shè)計(jì)專用探針，探針具有強(qiáng)大的通用性，能實(shí)現(xiàn)直流偏置、低/高頻測(cè)量、低噪聲屏蔽和低漏電流測(cè)量。SMA低溫探針主體由陶瓷或者FR4制作，低溫焊料焊接SMA接口，50歐姆阻抗傳輸線，可配置鎢、P7或者鈹銅探針，無氧銅熱沉帶，熱沉到樣品臺(tái)